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  • 洁净工作台尘埃粒子检测
    洁净工作台尘埃粒子检测

    使用尘埃粒子计数器采样:尘埃粒子计数器(粒径分辨率由0.3μm或0.1μm起始),最小采样速度为2.83L/min。

  • 洁净工作台噪声检测
    洁净工作台噪声检测

    洁净工作台噪声检测：洁净台在生产厂商设置的有效流速范围内，噪声应不超过65 dB(A)。